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            2. 深圳路維光電股份有限公司

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                大尺寸光罩

                主要應用領域: 1.主要應用于LCD、TFT、CF、TouchPanel、OLED、PDP等平板顯示行業; 2.HDI、FPC等PCB行業。

                1. 詳細信息

                鉻版精度(StandardSize:430mmx430mm)

                精度/級別

                最高精度

                高精度

                中精度

                一般精度

                最小線寬/線縫

                0.75μm/0.75μm

                5μm/5μm

                10μm/10μm

                20μm/20μm

                線條精度

                ±0.15μm(QZ)

                ±0.5μm

                ±1.0μm

                ±2.0μm

                總長精度

                ±0.5μm(QZ)

                ±1.0μm

                ±2.0μm

                ±2.0μm

                圖形位置精度

                ±0.5μm(QZ)

                ±1.0μm

                ±2.0μm

                ±3.0μm

                套合精度

                ±0.5μm(QZ)

                ±1.0μm

                ±2.0μm

                ±3.0μm

                垂直精度

                ±0.75μrad

                ±2.0μrad

                ±3.0μrad

                ±4.0μrad

                鉻版材料 (Photomaskblankphate)

                材料

                SodaLimeGlassQuartz

                最大尺寸

                850mm*1400mm

                常規尺寸

                420mmx520mm,520mm*610mm,520mm*800mm,700mm*800mm,

                800mm*920mm,800mm*960mm,850mm*1200mm,850mm*1400mm

                厚度

                2.3±0.2mm,3.0±0.2mm,4.8±0.2mm,7.8±0.2mm,

                5.0±0.2mm(QZ),8.0±0.2mm(QZ),10.0±0.2mm(QZ)

                鉻膜

                LowReflectanceChrome

                光學密度(λ=450nm)

                BetweenPlates3.0±0.3InPlate±0.3

                反射率(λ=436nm)

                BetweenPlates10±5%InPlate±2%

                 


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