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            2. 深圳路維光電股份有限公司

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                中小尺寸光罩

                主要應用領域: 1.IC Bumping、IC載板、IC Lead Frame等相關行業; 2.LED(PSS)、MEMS、SENSOR和ENCODER等精細電子元器件行業。

                1. 詳細信息

                鉻版精度(Standard Size:6inch Quartz)

                精度/級別

                最高精度

                高精度

                中精度

                一般精度

                最小線寬/線縫

                0.75μm/0.75μm

                3μm/3μm

                5μm/5μm

                10μm/10μm

                線條精度

                ±0.1μm

                ±0.3μm

                ±0.5μm

                ±1.0μm

                總長精度

                ±0.25μm

                ±0.5μm

                ±0.75μm

                ±1.0μm

                圖形位置精度

                ±0.25μm

                ±0.5μm

                ±0.75μm

                ±1.0μm

                套合精度

                ±0.25μm

                ±0.5μm

                ±0.75μm

                ±1.0μm

                垂直精度

                ±0.5μrad

                ±0.75μrad

                ±1.0μrad

                ±2.0μrad

                 

                鉻版材料 (Photomask blank phate)

                材料

                Soda Lime GlassQuartz

                常規尺寸

                3006,4009,5009,6012,6025,7012,9012,12"x12",14"x14"

                厚度

                1.5±0.2mm,2.3±0.2mm ,3.0±0.2mm ,4.8±0.2mm

                6.35±0.2mm (QZ)

                鉻膜

                Low Reflectance Chrome

                光學密度 (λ=450nm)

                Between Plates3.0±0.3 In Plate±0.3

                反射率 (λ=436nm)

                Between Plates10±5% In Plate±2%

                 


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